|
半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、光盤(pán)、鍍膜玻璃、導(dǎo)電玻璃、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水及超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對(duì)水質(zhì)的要求也越高。目前我國(guó)電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。
 詳細(xì)介紹
»電子行業(yè)超純水生產(chǎn)線典型工藝流程
電子行業(yè)制備超純水的工藝大致分成以下幾種：
1、采用離子交換樹(shù)脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：
●源水（箱）→源水泵→機(jī)械過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器（根據(jù)水的硬度來(lái)選用）→精密過(guò)濾器→陽(yáng)床→陰床→混床（單級(jí)或雙級(jí)）→純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)
2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合的方式，是比較經(jīng)濟(jì)和流行的一種方式，其基本工藝流程為：
●源水（箱）→源水泵→機(jī)械過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器（根據(jù)水的硬度來(lái)選用）→精密過(guò)濾器→反滲透設(shè)備→中間水箱→混床（單級(jí)或雙級(jí)）→。。。。。。→用水點(diǎn)
A、源水（箱）→源水泵→機(jī)械過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器（根據(jù)水的硬度來(lái)選用）→精密過(guò)濾器→高壓泵→反滲透裝置 （根據(jù)源水水質(zhì)可設(shè)單級(jí)或雙級(jí)）→中間水箱→混合離子交換器（單級(jí)或雙級(jí)）→終端過(guò)濾器→產(chǎn)品水箱→用水點(diǎn)
B、源水（箱）→源水泵→機(jī)械過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器（根據(jù)水的硬度來(lái)選用）→精密過(guò)濾器→高壓泵→反滲透裝置（根據(jù)源水水質(zhì)可設(shè)單級(jí)或雙級(jí)）→中間水箱→混合離子交換器（單級(jí)或雙級(jí)）→產(chǎn)品水箱→純水泵→核級(jí)樹(shù)脂→終端過(guò)濾器→用水點(diǎn)
3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子（EDI）設(shè)備進(jìn)行搭配的的方式，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚕浠竟に嚵鞒虨椋?br>
●源水（箱）→源水泵→機(jī)械過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器（根據(jù)水的硬度來(lái)選用）→精密過(guò)濾器→原水箱→反滲透設(shè)備（根據(jù)源水水質(zhì)可設(shè)單級(jí)或雙級(jí)）→中間水箱→電去離子（EDI）→純水箱→純水泵→后置過(guò)濾器→用水點(diǎn)
A、源水（箱）→源水泵→機(jī)械過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器（根據(jù)水的硬度來(lái)選用）→精密過(guò)濾器→高壓泵→反滲透裝置（根據(jù)源水水質(zhì)可設(shè)單級(jí)或雙級(jí)）→中間水箱→EDI→產(chǎn)品水箱→用水點(diǎn)
B、源水（箱）→源水泵→機(jī)械過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器（根據(jù)水的硬度來(lái)選用）→精密過(guò)濾器→高壓泵→反滲透裝置（根據(jù)源水水質(zhì)可設(shè)單級(jí)或雙級(jí)）→中間水箱→EDI→產(chǎn)品水箱→純水泵→核級(jí)樹(shù)脂→終端過(guò)濾器→用水點(diǎn)
實(shí)際工作中根據(jù)源水水質(zhì)和出水要求適當(dāng)取舍或添加，確定工藝！
|
 |
 |
»三種制備電子工業(yè)用超純水的工藝比較
目前制備電子工業(yè)超純水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎(chǔ)上進(jìn)行不同組合搭配衍生而來(lái)。現(xiàn)將他們的優(yōu)缺點(diǎn)分別列于下面：
1、第一種采用傳統(tǒng)的離子交換樹(shù)脂其優(yōu)點(diǎn)在于初次投資少，占用的地方少，但缺點(diǎn)就是需要經(jīng)常進(jìn)行離子再生，耗費(fèi)大量酸堿，而且對(duì)環(huán)境有一定的破壞。
2、第二種采用反滲透+離子交換設(shè)備，其特點(diǎn)為初次投資比采用離子交換樹(shù)脂方式要稍高，但離子再生周期相對(duì)要長(zhǎng)，耗費(fèi)的酸堿比單純采用離子樹(shù)脂的方式要少很多。是目前比較經(jīng)濟(jì)與流行的一種工藝。
3、第三種采用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子（EDI）裝置，這是目前制取超純水最先進(jìn)，最環(huán)保的的工藝，不需要用酸堿進(jìn)行再生便可連續(xù)制取超純水，對(duì)環(huán)境沒(méi)什么破壞性。其缺點(diǎn)在于初次投資相對(duì)以上兩種方式過(guò)于昂貴。
»我們公司生產(chǎn)的電子級(jí)超純水設(shè)備特點(diǎn)
設(shè)備通常由機(jī)械過(guò)濾器，活性碳過(guò)濾器，鈉離子軟水器、精密過(guò)濾器等構(gòu)成前期預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床系統(tǒng)或EDI電脫鹽系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無(wú)人職守，同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶(hù)要求相統(tǒng)一的方法，使設(shè)備與其它同類(lèi)產(chǎn)品相比較，具有更高的性?xún)r(jià)比和設(shè)備可靠性。
»電子行業(yè)超純水設(shè)備應(yīng)用范圍
1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路；
2、超純材料和超純化學(xué)試劑；
3、實(shí)驗(yàn)室和中試車(chē)間；
4、汽車(chē)、家電表面拋光處理；
5、光電產(chǎn)品；
6、其他高科技精微產(chǎn)品；
|
